确定内审的目的
除了应付外审的要求之外，还要明确自己的目的性及体系整改目标、部门整改目标、流程整改目标。毕竟组织一次内审是要花费很多时间与精力的，要尽量使它的效能最大化，并且能达到自己的目的，找到真正的不足之处。
比如：觉得自己的装配车间近期合格率直线下滑，我们可以通过内部审核找到它下滑的原因。一些流程走得不顺，效率不佳，我们也可以进行内部调查、测试、审核，找出不顺的原因。
除此之外，还要让相关人员知道，内审不是找谁的茬，是要找管理体系的不足之处，然后加以改正，这是对大家都有好处的。
审核的范围
可以是整个公司、整个体系，也可以是一个部门、一个流程，甚至一个产品的品质控制过程。这些均可以根据内审目的而定。
审核依据
除了之前的传统体系要求外，我们还可以增加一些有针对性的要求，如：最高管理者的要求、管理者代表的要求、部门负责人的要求。即是与内审的目的相一致。
审核前的调查
在审核开始之前主导内审的人员要针对审核的目的与要求，做一些调查与信息的收集，这个在传统内审中是没有的，收集的内容包括：部门内部的绩效表现、人员的调查、负责人的自评、内部人员自评、部门与部门之间互评、日常运行情况。主要目的是使体系内部问题得到初步呈现，了解体系运行中的相关人员对体系运作中的一个感受与评价。这样使后期内审更加有针对性与目的性，效果会更好。这个可以在内审之前的日常管理与进行中积累收集，也可以集体调查收集。
制定内审计划
内容包括：审核目的、审核范围、审核依据、日期、内审人员、任务安排、日程安排。使审核工作得到具体的书面上的呈现。
确定内审人员
依据调查结果，审核目的的要求确定内审小组成员，可以由有内审员资格的人员，与相关要审核的流程、产品、部门的专业人员陪同，打破传统模式中的只有内审人员参与的方式，这样做的好处是，做到了懂体系的人与懂产品/流程的人相结合。这样做到一个互补。要注意的是，被审核部门的人员需考虑一下避嫌，审核组长可以自行评估利弊。
编写内审检查表
审核小组成员，针对于审核目的、范围、依据，有针对性地编写审核检查表，突出此次审核的目的是体系的改善还是部门与流程的改善，还是全面的整改与梳理。
内审的项目的重审讨论
检查表出来之后，内审组再一次进行集合评审检查表的内容，剔除多余与重复的审核内容，补充不足之处，批注重点等等。
进行内部审核
按照审核计划的内容执行，审核日期可以是随机的，也可以是有计划性的，但一定要尽可能多的发现问题。
内部审核结果汇总
结果汇总到审核组长处，并开会讨论分析此次审核发现的问题。汇成书面的审核总结报告交给管代或最高管理者，为下一部的管理评审做准备。如果是单独部门或流程内审，可以在这总结会上讨论并制定相关的纠正预防措施即可，这可以视问题的严重程度灵活运用。
管理评审
召开管理评审会议，针对审核发现的问题制定相应的纠正预防措施，好的嘉勉，不好改进。
内审结果的跟进
使所有的措施得到落实并产生绩效。
结案
所有的措施进行结果跟进与效果评估，形成标准。
这样做的优点与缺点
优点：使内部审核更有针对性，可细可全，更加专业与客观，能使更多问题进行浮现。
缺点：审核周期变长，信息筛选变得更加多，对内审员的能力要求高。
